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室温电磁铁探针台 PSEM系列

室温电磁铁探针台 PSEM系列

PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台,提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场,能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。

室温电磁铁探针台 PSEM系列产品概述

  室温电磁铁探针台不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试,并且可以为样品测试提供一个可变磁场,磁场较强,磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计,在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。


  PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台,提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场,能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。


特点
• 样品座可以放置4英寸的晶圆样品,通过移动样品座下面的滑台,可以实现X-Y轴±50mm的移动行程,并且样品座本身可以进行三维上的精细调节,使得样品测试和换样    更加便捷。
• 探针臂底座采用磁铁吸附固定,可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节,配合样品座位移调节,可满足探针快速扎到4英寸样品的任意位置(探针臂可安装6个,水平磁场电磁铁探针台可安装4个)
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电性小,漏电流在100fA以内,探针臂内置线缆,避免杂乱的走线
• 探针采用针套固定,只有针尖裸露在外,减小漏电
• 电磁铁支架与探针台采用分体隔离支架,在磁体运动时避免振动传导到样品上
• 样品固定方式采用多孔分区吸附,有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道,可吸附固定1mm*1mm样品
• CCD放大倍数为180倍,工作距离为100mm

室温电磁铁探针台 PSEM系列技术参数

型号分类:

型号 PSEM-2H(水平磁场)
 PSEM-2V(垂直磁场)
PSEM-4V(垂直磁场)
样品座尺寸2英寸2英寸4英寸

参数和指标: 

样品座
卡盘尺寸:
2/4英寸,可定制
材质:
无氧铜镀金
样品固定方式:
多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道
滑台
X-Y移动行程:
2/4寸:±50mm(水平磁场探针台无滑台)
移动精度:
10μm
探针臂
X-Y-Z移动行程:
X-13mm,Y-13mm,Z-13mm
旋转度:
360度自由旋转
移动精度:
10μm
探针臂数量:
垂直磁场电磁铁探针台可安装6个;水平磁场探针台可安装4个
电学线缆:
三同轴线缆
漏电流:
100fA
探针类型:
直流探针
光学系统
显微镜放大倍数:
10-180倍
显微镜工作距离:
90-100mm
CCD相机分辨率:
3800万像素
电磁铁组件(垂直磁场)
磁铁型号:
EM-60V
磁场大小:
±0.6T
磁铁间距:
30mm
极柱:
直径60mm,标配一副50mm纯铁极头
循环水冷却
电磁铁组件(水平磁场)
磁铁型号:
EM-30H
磁场大小:
±0.3T
磁铁间距:
60mm
极柱:
标配一副60mm纯铁极头
循环水冷却
可加选件
光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

室温电磁铁探针台 PSEM系列应用领域

半导体
集成电路
晶圆片

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