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HXJ5N0系列全自动探针台

HXJ5N0系列全自动探针台

HXJ5N0系列全自动探针台4英寸、5英寸晶圆,包含二极管,三极管,MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量,可选配多针测试功能,可实现多颗同时测量之要求,提高机器的测试产能。

HXJ5N0系列全自动探针台产品概述

  HXJ5N0系列自动探针台4英寸、5英寸晶圆,包含二极管,三极管,MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量,可选配多针测试功能,可实现多颗同时测量之要求,提高机器的测试产能。

软件功能介绍:
1.可测试圆片,测试范围可选,支持隔行抽测和环形测试,MAP图可以编辑测试;
2.支持坏点重测;
3.具备离线打点、同步打点功能;
4.具备接触缓冲功能,针痕稳定;
5.运行精度补偿功能,保证测试的稳定性;
6.测试良率、总数、速度显示;
7.CCD图像自动对准定位;
8.设备具备一定的抗干扰能力,支持高低温测试,运行稳定;
9.多BIN分类测试,测试数据可以存储,可以导出,兼容后道设备格式使用,具有数据统计分析功能;
10.操作员,管理员,系统厂家权限管理功能;


HXJ5N0系列全自动探针台技术参数

参数和指标:

性能
技术
可测试晶圆尺寸
4寸、5寸
工作台行程
140mm×150mm
控制精度
≤0.001mm
全程精度
≤±0.05mm/160mm
Z向行程
≤5mm(可调)
θ向可调范围
±15°
支持高压测试≥2000V
转载晶舟
双晶舟
真空度
>-0.08MP
电源
AC220V 50Hz,1KW

HXJ5N0系列全自动探针台应用领域

半导体
集成电路
晶圆片

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