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离子泵

离子泵

安捷伦4UHV离子泵控制器多能同时控制四台离子泵,可对泵进行独立操作,并且支持各个型号(包括Diode,Noble Diode,StarCell)。LCD 显示可同时读取并显示四通道信息,包括离子泵电压,电流和压力。可变电压能够佳读取抽速和压力。标配内置设定点,远程操作,以及RS232/485 电4UHV离子泵——专为超高真空设计

离子泵产品概述

IPCMini——全新单通道离子泵控制器
体积小巧,功能强大,1/4”rack,1.9kg,3.5英寸触摸屏操作;可以控制安捷伦0.2-500l/s的离子泵,并且兼容其它主流品牌;全新的IStep模式,低
压力下更容易启动;高电流分辨率,可在低压范围内读数更精准;I/Oresponse <10ms,可与阀门连锁;可设置断电恢复后自动开启;可通过USB接口升级软件和记录数据

各种抽速范围的离子泵
— 微型泵抽速范围从 0.2 到 10 l/sec
— 中小型泵抽速范围从 20 到 75 l/sec
— 大型产品抽速范围从150 到1000 l/sec
— 钛升华复合型离子泵
— 其他满足用户定制需要的特殊型号

高真空处理工艺
安捷伦真空采用了严格的高真空处理工艺来确保离子泵的卓越品质:
— 离子泵泵体及所有内部材料均经过严格的超高真空环境下 450ºC高温除气
— 每台离子泵出厂前均经过 RGA 分析,并在真空密封条件下封装出厂

根据用户特殊要求设计定制
根据用户需求可提供定制设计的泵体结构:
— 低温筒和钛升华泵可选择侧向或底部安装
— 定制复合吸气剂 (NEG) 模块的离子泵
— 集成加热烘烤装置
— 扩展接口

烘烤加热装置
— 可选配相应的烘烤加热装置,以更妥善地烘烤泵体
— 简化操作过程

高压电源线
— 新型的高压电源线具有“高压安全互锁”功能,以避免潜在的放电风险
— 当电源线从泵体断开时自动切断高压输出
— 可根据用户需要定制相应长度
— 可靠,灵活的金属套装线缆
— 耐受辐射能力 107 Gy

离子泵技术参数

离子泵选型表


离子泵应用领域

半导体
集成电路
晶圆片

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